د لوړې تودوخې سینسر اهمیت

په دې وروستیو کلونو کې، د خپل هیواد د هوساینې ټیکنالوژي په چټکۍ سره وده کوي، او د غوښتنلیک برخې هم پراخیږي. لکه څنګه چې د تدریجي ټیکنالوژۍ ټیکنالوژۍ ترټولو ډیر بالغ ډول، نوي ټیکنالوژګي، نوي ټیکنالوژی، نوي توکي او نوي پروسو په دوامداره توګه د فشار سینسرونو کې رامینځته کیږي.

د فشار سینسر د فشار سیګنالونو موندلو لپاره کارول کیږي او د ځانګړي مقرراتو مطابق یې بریښنایی نښو ته اړول. دا په پراخه کچه په مختلفو تولید، صنعتي او هوښیارتیا برخو کې کارول کیږي. د غوښتنلیک د ساحې فرعي برخې او د سانتي تودوخې مختلف ډولونه د 120 ° C څخه ټیټ دي. ° C) به ناکام شي، په پایله کې د فشار اندازه کولو ناکامي. له همدې امله، د تودوخې عالي کچې سینسر د څیړنې خورا مهم لارښود ګرځیدوي.

د لوړ تودوخې طبقه بنديد فشار سینسرونه

د کارول شوي مختلف موادو په وینا، د لوړ تودوخې فشار سینسرونه د لوړ پوړو لوړ فشار سینسر او نور مختلف ډولونه. د د SOI لوړه - تودوخې فشار سینسرونه خورا مثالی دي. لاندې لاندې د SOI د کچې تودوخې بدن سینسر معرفي کوي.

د SOI د لوړ تودوخې فشار سینسر

د SOI لوړ پوړو فشار سینسر پرمختګ په عمده توګه د SII موادو باندې سیلیکون دی. د وسیلې اعتبار ته وده ورکوي. پردې، د SOI آله د کچې ځانګړتیاوې له امله د لوړ تودوخې سینس سینساو غوره کولو لپاره دا مثالي توکي کیږي.

په اوس وخت کې، د SOI لوړ پوړو فشار سینسرونه په بریالیتوب سره په بهر کې پرمختللي شوي، او په متحده ایالاتو کې د عصري پرمختللي سینسر ټیکنالوژۍ مرکز لخوا رامینځته شوي؛ the SOI high-temperature pressure sensor developed by the French LETI Institute also has a working temperature of more than 400°C.Domestic research institutions are also actively carrying out research on SOI high-temperature pressure sensors, such as Xi'an Jiaotong University, Tianjin University, and Peking University. سربیره پردې، د فاطري راتلونکي پرمختللي ټیکنالوژۍ څیړنیز انسټیټیوټ انافی په وړاندې اړونده څیړنې کار ترسره کوي، او اوسنۍ پروژه د مظاهرې مرحلې ته ننوتل.

د SOI د لوړ تودوخې فشار درسي اصل

اصول، د لوړ تودوخې فشار په اساس د سیلیکون سیلیکټال په وړاندې د یو ځواک عمل ردوي، چې په پایله کې د کرسټون لیټی ایستلو لامل کیږي، چې په SOI ټاپ وسیله کې په یو ځانګړي سمت کې بدلون لامل کیږي هغه طبقه چې د تنټسټون پل جوړوي لکه څنګه چې په عکس 2 کې ښودل شوي (a)؛ د فشار بیرته غار د SOI سبټریټ پرت باندې د فشار لپاره د SOI سبټریټ پرت باندې چلول کیږي ترڅو د فشار حساس جوړښت رامینځته کړي.

عکس 2 (الف) د ټاونسټون پل

کله چې د فشار حساس جوړښت د هوا فشار فشار لاندې وي، د پرزیسرسیټر بدلونونو مقاومت لامل کیږي، او د فشار ارزښت د وتلو ولټاژیک ارزښت او د پیزرسیسټر تر مینځ د اړیکو وطن له لارې اندازه کیږي.

د SOI د لوړ تودوخې فشار جعلي پروسه

د SOI لوړې تودوخې فشار چمتو کولو پروسه د ما د څو مادس پروسو سره یوځای کیږي. ځینې ​​کلیدي ګامونه دلته د حوزې پروسې باندې پوهیدو لپاره معرفي شوي، په عمده توګه د پیزور چمتووالی، د فلزي حساس فلم چمتووالی، او د فشار خونه بسته کول.

د ضعیفو چمتو کولو کلي د ډینګینګ غلظت او د بیا تړلو د تختې پروسې اصلاح کولو کې دي. د فلزي مخکښ پرت د دور دشټون پل په توګه کار کوي؛ د فشار حساس فلم چمتو کول اساسا د سیلیکون د ELCینګ پروسې تکیه کوي؛ د قفس بسته بندي معمولا د فشار سینسر پلي کولو پورې اړه لري،

څنګه چې د عالي سوداګریز فشار سینسر نشي کولی د ځانګړي زیانونو چاپیریالونو ته د فشار اندازه کولو اړتیاوې او د ایر تودوخې ځانګړتیاوو لپاره په بشپړ ډول معلومات ورکړي د SOI لوړ پوړي تودوخې سینسر په اړه راتلونکي څیړنې باید د اوږدې مودې ثبات او ځان د ځان وژونکو ستونزو په حل باندې تمرکز وکړي او د فشار سینسانو دقت اصلاح وده وکړي. اړخ.

البته، د نظارت کونکي راتګ هم د لوړو دورې څخه هم غوښتنه کوي ترڅو د نورو ملټيفسي فشار سینسشن سره یوځای د نورو ملټي تولیدي ټیکنالوژۍ سره یوځای شي لکه د ځان معاملاتي لارې سره یوځای شي لکه د ځان خساره، ځاني لیوالتیا، د تودوخې حساس چاپیریال فشار ته اړتیا لري. .